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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心清洗系列臭氧清洗機PCE-22 紫外臭氧清洗機

PCE-22 紫外臭氧清洗機
產(chǎn)品簡介：

PCE-22 紫外臭氧清洗機是一款可加熱型的紫外臭氧清洗機，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM &TEM，紫外對聚合物改性等。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2024-11-05

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：2490

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹

PCE-22 紫外臭氧清洗機

性能指標(biāo)和基本配置
主要參數(shù)

● 功率：最大350W
● AC 208~240V，單相 50/60Hz

應(yīng)用

● 去除分子級別的污染物
● 紫外光固化粘合劑
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蝕
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

紫外燈

● 可發(fā)出雙波長的水銀燈
● 功率：55W
● 發(fā)出光的波長：254 nm 和 185 nm
● 使用壽命：2500 小時（可更換）
● 照射區(qū)域：200 x 200 mm
1

腔體&樣品臺

● 不銹鋼殼體
● 抽屜式樣品臺，以便放樣取樣
● 樣品臺面積310 mm x 320 mm
● 臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
● 樣品臺與紫外燈的距離：20mm -40mm（可調(diào)）
● 樣品臺可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃
● 可設(shè)置20段升降溫程序，控溫精度為+/-1℃
● 設(shè)備運行時間：0.01 秒- 99.9小時
1

排氣口

● 直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
● 請將橡膠管與排氣口連接，將臭氧排出到實驗室外
● 儀器中不包含橡膠管
1

環(huán)境要求

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度5500英尺以內(nèi);
● 溫度范圍：41-104華氏度;
● 最大相對濕度80％，最高87華氏度，104華氏度線性降至50％相對濕度;
● 主電源波動不超過額定電壓的10％;
● 污染等級2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb。

外形尺寸

510mm x 350mm x 400mm (W x H x D)
1

凈重28kg
認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費用，本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。
1

保修期一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點擊查看售后服務(wù)承諾書。

PCE-22 紫外臭氧清洗機

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