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當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心清洗系列臭氧清洗機(jī)PCE-44 小型紫外臭氧清洗機(jī)

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機(jī)
產(chǎn)品簡介：

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機(jī)，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級(jí)別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2024-11-05

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：1941

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機(jī)，可用于清洗各種單晶基片，以保證更好的成膜質(zhì)量。同時(shí)也可去除光刻膠、改善材料表面潤濕性、清洗SEM和TEM樣品及紫外活化聚合物等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對材料無損傷的原子級(jí)別的清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物。紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm.其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌粞酰?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效地清除有機(jī)化合物。

 性能指標(biāo)和基本配置
電源

220V 50/60HZ

紫外燈

● UV燈管
● 功率：55W
● 發(fā)出光的波長：波長254nm+185nm
● 使用壽命：6000h小時(shí)
● 照射區(qū)域：100 x 100 mm
● 光照強(qiáng)度：4.6 mw/cm2
1

腔體

● 抽拉盒尺寸: 140mm*132mm*20mm
● 標(biāo)配高純石英片用于盛放樣品，避免污染
1

應(yīng)用

● 去除分子級(jí)別的污染物
● 紫外光固化粘合劑
● 紫外光催化
● 氧化PDMS
● 表面消毒
● 刻蝕
● 清洗MEMS 器件
● 清洗各種基片，如Si, Ge, GaAs和各種氧化物單晶基片

環(huán)境要求

● 僅室內(nèi)使用; 海拔高度在5,562英尺以內(nèi)
● 溫度范圍41-104華氏度
● 最大相對濕度80％，最高87華氏度，104華氏度線性降至50％相對濕度
● 主電源波動(dòng)不超過標(biāo)稱電壓的10％
● 污染等級(jí)2; 臭氧水平（環(huán)境）測量<45 ppb

外形尺寸

240mm*200mm*165mm
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凈重4kg
認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。

1

保修期一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示：
1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。
2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。
點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

PCE-44 小型紫外臭氧清洗機(jī)

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