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PRODUCT CENTER

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心清洗系列等離子清洗機(jī)PDC-36G 等離子清洗機(jī)

PDC-36G 等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品簡介：

PDC-36G 等離子清洗機(jī)是一種緊湊型、低成本的等離子清洗機(jī)。使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染。在射頻電源的作用下，去除速率大每分鐘10納米。在單晶材料外延薄膜生長以前進(jìn)行預(yù)處理，對(duì)生長具有顯著的作用 。

產(chǎn)品型號(hào)：

更新時(shí)間：2024-11-05

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：1294

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹
功能特點(diǎn)
  • 結(jié)構(gòu)緊湊、小型化的桌上型儀器；
  • 用各種氣體清洗和去除晶片上納米級(jí)有機(jī)污染物；
  • 在制膜實(shí)驗(yàn)之前預(yù)先清潔鍍膜基底的優(yōu)秀工具。清洗后鍍膜的質(zhì)量可以更好；
  • 鉸鏈?zhǔn)介T，方便裝樣；
  • 石英腔的直徑是3英寸，在里面可以放入一個(gè)石英舟，大清洗一個(gè)2英寸的基片；
  • 清洗腔里面的石英管可以拆卸，方便清洗和更換；
  • 使用可調(diào)射頻電源，可以設(shè)置功率為低、中、高級(jí)別；低成本、操作安全；
技術(shù)參數(shù)
主要參數(shù)

 

● 低功率設(shè)定：直流680V，10mA,6.8W

● 中功率設(shè)定：直流700V，15mA,10.5W

● 高功率設(shè)定：直流720V，25mA,18W

● 射頻源輸出頻率：13.56MHz

● 等離子直流電源

● 輸入電壓：220V,50Hz

 

等離子腔室

 

● 直徑75mmx長200mm的石英墻體，前蓋可以開啟

● 高純度石英腔體，使用壽命比玻璃長

 

真空計(jì)

 

● 設(shè)備標(biāo)配一個(gè)數(shù)顯電阻真空機(jī)用于實(shí)時(shí)監(jiān)測清洗倉內(nèi)的真空度。

 

可選配件

 

● 您可以訂購額外的石英腔體，用于備用

● 如果需要一個(gè)通入兩種氣體的工藝解決方案，PDC-36G等離子清洗機(jī)可以與2路混氣系統(tǒng)組合（點(diǎn)擊下面圖片了解詳情）

● 您可以訂購石英晶片載體來清潔2英寸晶片

● 1 1

 

真空泵和閥

 

● 此設(shè)備不包含真空泵

● 您可以點(diǎn)擊下方圖片了解真空泵信息

● 1

 

工作氣體

 

● 多種氣體可以用于等離子清洗，例如氮?dú)?、氬氣、空氣、混合氣體，主要取決于處理何種材料。

● 可以使用<4％的H2混合惰性氣體

● 警示：不能使用可燃性及腐蝕性氣體

 

 

等離子清洗及刻蝕的方法

1

 

外形尺寸

 

353mm（L）x380mm（W）x225mm （H）

 

凈重

 

8kg（不含泵）

 

認(rèn)證

 

CE認(rèn)證

 

質(zhì)保期

 

● 一年保修，終身技術(shù)支持。

● 特別提示：1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

                    2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。

● 點(diǎn)擊查看售后服務(wù)承諾書。

 

工作原理

 

等離子清洗機(jī)工作原理

 

 

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