● 工作環(huán)境：溫度 < 42°C，濕度 ≤ 40℃RH
● 輸入電源：208 V- 240VAC, 50Hz, < 1000W
● 等離子體工作壓力

● 輸出頻率：20-23kHz , 25KV
● 等離子槍頭：儀器中包括兩種等離子槍頭：圓形頭：10-12mm，矩形頭：15-18mm
 

● 40 PSI min.(0.055 Mpa)
● Air, N2, Ar, He 或混合氣體(不可通入易燃易爆氣體 )

● 配有可在X-Y軸移動(dòng)的樣品臺(tái)，通過步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)，采用SBC控制盒控制
● 可手動(dòng)調(diào)節(jié)樣品臺(tái)在Z軸方向上的移動(dòng)距離
● 控制盒采用LCD顯示，可設(shè)置其等離子槍頭的掃描程序。
● 最大掃描范圍：8" x 9"
● 一個(gè)直徑為4"的真空吸盤安裝在X-Y樣品臺(tái)上，可吸住直徑為6"的樣品。
● 配有一真空泵，可與真空吸盤相連接
● 整個(gè)系統(tǒng)安裝在一移動(dòng)架上（600x600x 800Lmm）
● 可選：可選加熱樣品臺(tái)（最高溫度可加熱到500℃),也可將設(shè)備放置在手套箱中操作。
    

處理樣品臺(tái)尺寸：560mm L x483mm W x 609mm H
等離子源尺寸: 406mm L x 508mm W x 230mm H
控制盒尺寸：330mm L x 305mm W x 152mm H

55kg

請(qǐng)點(diǎn)擊鏈接以了解更多關(guān)于AP-PECVD應(yīng)用的信息：常壓等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（AP-PE-CVD）用于在低溫下生長(zhǎng)薄膜。

所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證。