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產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置：首頁產(chǎn)品中心鈣鈦礦太陽能電池制備PCE-22-LD紫外臭氧清洗機(jī)

紫外臭氧清洗機(jī)
產(chǎn)品簡介：

應(yīng)用范圍：PCE-22-LD是一款可加熱的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM＆TEM，紫外對(duì)聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對(duì)材料無損傷的原子級(jí)別清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物，紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌魵?/h1>

產(chǎn)品型號(hào)：PCE-22-LD

更新時(shí)間：2024-11-06

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：396

服務(wù)熱線

0755-26959531

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產(chǎn)品介紹
PCE-22-LD是一款可加熱的紫外臭氧清洗機(jī)，其加熱溫度可達(dá)150℃。此款設(shè)備可用于清洗各種基片，為制作高質(zhì)量的薄膜打好基礎(chǔ)。特別適合移除光刻膠，改善表面潤濕性，清洗SEM＆TEM，紫外對(duì)聚合物改性等。紫外臭氧清洗提供了一種無酸、干燥對(duì)材料無損傷的原子級(jí)別清洗手段，特別適合清除一些有機(jī)化合物，紫外燈主要發(fā)出兩種波長的光：185nm和254nm，其中185nm的光可把空氣中的氧氣變?yōu)槌魵猓?54nm可以破壞化合物中的鍵（特別是碳碳鍵）。所以這兩種波長的光組合可有效的清除有機(jī)化合物。
功能特點(diǎn)

  • 僅室內(nèi)使用；海拔高度5500英尺以內(nèi)；

  • 溫度范圍：5-40℃；

  • 最大相對(duì)濕度80%，最高30.5℃，40℃線性降至50%相對(duì)濕度；

  • 主電源波動(dòng)不超過額定電壓的10%；

  • 污染等級(jí)2；臭氧水平（環(huán)境）測(cè)量＜45ppb；

  • 可去除分子級(jí)別的污染物；

  • 可清洗MEMS器件；

  • 可清洗各種基片，如si,Ge,GaAs和各種氧化物單晶基片。

紫外臭氧清洗機(jī)

技術(shù)參數(shù)
電源單相AC220V±10%，頻率：50Hz/60Hz，功率約1KW
工作環(huán)境室內(nèi)使用，溫度：5～40℃，最大相對(duì)濕度80%，海拔5500英尺以內(nèi)
腔體&樣品臺(tái)不銹鋼殼體
紫外臭氧清洗機(jī)

抽屜式樣品臺(tái)，以便放樣取樣
基片臺(tái)尺寸：310mm*320mm
臭氧通風(fēng)裝置安裝在腔體上
樣品臺(tái)與紫外燈的距離：20mm-40mm范圍內(nèi)可調(diào)
樣品臺(tái)可以加熱，最高溫度可達(dá)150℃
可設(shè)置8段升降溫程序，控溫精度為±1℃
照射設(shè)定時(shí)間：1min-9999min
觸摸屏＆加熱4.5英寸觸摸屏控制加熱和清洗功能
點(diǎn)擊觸摸屏上的“溫控程序"即可進(jìn)入程序設(shè)置界面，內(nèi)置溫控儀表采用PID方式調(diào)節(jié)，可設(shè)置30段升溫程序，設(shè)備只顯示8段升溫程序，可根據(jù)實(shí)際要求進(jìn)行添加
設(shè)備加熱前需進(jìn)行預(yù)熱處理
排氣口直徑為80mm的排氣口安裝在儀器后端
將鋁波紋管與排氣口連接，將臭氧排出到實(shí)驗(yàn)室外
橡膠管長度8米
紫外臭氧清洗機(jī)
紫外燈UV燈管：
功率：210W
發(fā)出光的波長：254nm和185nm
照射區(qū)域：200*200mm
可以清潔直徑最大為12英寸×35mm的晶體晶片
外形尺寸約L550*W520*H335mm
重量約30kg



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